Using the 193 nm scanner and advanced etch tool Lam 2300 depth uniformity can be well controlled.

  • 通过引进波长为193nm的曝光机和功能强大的蚀刻机台Lam2300,成功地解决了有源区特征尺寸的控制和硅沟槽均匀性控制的问题.

  • 网络期刊摘选 2020-10-24 20:02:44

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